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由高精密氣浮直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌,建立X坐標(biāo)的高精密測(cè)量基準(zhǔn),Z坐標(biāo)由電感傳感器構(gòu)成,可以測(cè)量各種精密機(jī)械零件的素線形狀.本儀器由于基準(zhǔn)直線運(yùn)動(dòng)采用精密氣浮導(dǎo)軌,故移動(dòng)...
本圓度儀的旋轉(zhuǎn)軸系采用高精度氣浮主軸，作為測(cè)量基準(zhǔn)；電器部分由高級(jí)計(jì)算機(jī)及德國海德漢精密圓光柵傳感器、精密電感位移傳感器組成，德國海德漢精密圓光柵傳感器、精密電...
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